TSMC 잡을 ‘비밀무기’…삼성 ‘이 부품’에 사활 걸었다 [강경주의 IT카페] : EUV 펠리클은 포토마스크(반도체 회로패턴을 그린 유리기판)에 먼지가 붙지 않도록 씌우는 얇은 필름을 말한다. 공정 미세화로 수요가 늘고 있는 데다 불량률을 낮추고 웨이퍼 투입량을 줄여줘 삼성전자와 TSMC가 관련 기술 확보에 사력을 다하고 있다.
TSMC 잡을 ‘비밀무기’…삼성 ‘이 부품’에 사활 걸었다 [강경주의 IT카페] : EUV 펠리클은 포토마스크(반도체 회로패턴을 그린 유리기판)에 먼지가 붙지 않도록 씌우는 얇은 필름을 말한다. 공정 미세화로 수요가 늘고 있는 데다 불량률을 낮추고 웨이퍼 투입량을 줄여줘 삼성전자와 TSMC가 관련 기술 확보에 사력을 다하고 있다.
